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碳化硅脫脂燒結一體爐
產品介紹
碳化硅脫脂燒結一體爐主要用于粉末成型碳化硅制品的脫脂、燒結處理。該設備采用先進的自動化控制及人機交互系統(tǒng),對溫度、壓力、流量等各個變量精準控制,使產品質量有明顯改善。
產品參數
裝料空間(D*H)  
φ400*1200
 
φ500*1800
最高工作溫度 2350℃
極限真空 1Pa
真空泄漏率 ≤5×10-3mbarl/s
真空泵組 旋片泵+羅茨泵
脫蠟率 ≥98%
抽氣速率 ≤20min
升溫速率(滿載、<1000℃) ≤10℃/min
升溫速率(滿載、≥1000℃) ≤6℃/min
低溫段溫度均勻性 ≤±5℃
高溫段溫度均勻性 ≤±4℃
測溫方式 Wre5-26雙芯熱電偶+紅外測溫儀
加熱區(qū)數 三區(qū)/四區(qū)
工藝氣體種類 Ar、N2
電源 三相五線制 AC380V±10%/50HZ
  以上參可根據工藝要求進行調整,不作為驗收依據,具體以技術方案和協(xié)議為準。


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